반도체,LCD,OLED,SOLAR CELL 제조공정에서 MAIN CHAMBER 온도를 일정하게 유지하는 장치
반도체,LCD,OLED,SOLAR CELL 제조공정에서 발생하는 유해가스를 정화하는 장치
DEVICE 완성 후 CHAMBER 내에서 저온과 고온의 CYCLE TEST 후 DEVICE 신뢰를 확보 하기 위한 TEST 장비
반도체,LCD 공정등에 사용되는 주요 핵심부품에 대한 정밀,특수가공
