사업분야
사업분야
CHILLER 사업
반도체 제조를 위한 공정 중 웨이퍼 상에 식각 및 증착 공정을 수행하는 건식(etcher)(deposition) 식각 장치와 그 외에 공정 장비인 진공(dry etcher) 증착 등의 공정에서 과도한 열이 발생한다. 따라서 CHAMBER 내부 및 WAFER 주변 온도를 일정하게 유지할 수 있도록 온도의 정밀제어가 요구되는데, 이 온도를 일정하게 유지함으로써 공정 효율을 개선하는 장치를 Chiller라 한다.
주요특징
- 최신 반도체 공정에 맞춘 냉동기 Type, 전기 Type CHILLER 제조, 판매, 유지관리
- 글로벌 Main 장비업체와 협업으로 최신 기술 확보
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