제품소개
제품소개
BURN-WET
PCS-BW400S
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 LNG 연소를 통한 직화 처리로 독성가스를 처리하는 System
Scraper System 적용 정기 PM 주기 연장
안전 인증 설계 진행 운영 안정성 확보
제품사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| Dimension(W x D x H) | 720mm x 850mm x 1680mm |
| Power | 208 VAC, 3 Phase, 3A |
| Capacity | 400 SLM |
| Utilities | LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2 |