제품소개
제품소개
THC
IRS-8000PV
반도체 Photo 공정 Track 설비의 초정밀 온도, 습도 제어 System
저전력 Energy Saving System
최적화 설계 제작 (안정성 및 운영 편의성)
제품사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| TEMPERATURE CONTROL RANGE | THC : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃) TCU : 20 ~ 25℃ (±0.05 ℃) |
| HUMIDITY CONTROL RANGE | THC : 40 ~ 45% (±0.25%) |
| FLOW RATE | 88.5 ℓ/min |
| WIND SPEED | 61㎥/min |