제품소개
HEAT-WET
PCS-HW400S
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 전기히터를 사용하여 자연발화점 이상의 온도로 가열하여 독성가스를 처리하는 System
고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 Gas 처리
Burn & Plasma Type 대비 운영 비용 저렴
제품사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| Dimension(W x D x H) | 750mm x 700mm x 1600mm |
| Power | 208 VAC, 3 Phase, 8kW |
| Capacity | 300 SLM |
| Utilities | N2, CDA, CW |