제품소개
제품소개
PLASMA-WET
PCS-PW400S
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 PLASMA를 이용하여 극고온 JET로 대상 가스를 분해 처리하는 System
PFC GAS의 높은 분해 효율성(99%)
제품사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| Dimension(W x D x H) | 720mm x 850mm x 1680mm |
| Power | 208 VAC, 3 Phase, 3A |
| Capacity | 300 SLM |
| Utilities | LNG, O2, CW, PCW, CDA, N2 |